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详细资料:
RTP快速退火炉产品用途:
此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
RTP快速退火炉产品组成:
此款CVD系统配置:
1.1200度开启式真空www.tyc.com(可选配单温区、双温区)。
2.多路质量流量控制系统
3.真空系统(可选配中真空或高真空)
产品特点:
1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。
2中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵
防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。
产品名称 | RTP系列-滑动式快速退火炉 |
产品型号 | RTP-G06123K-H |
额定功率 | 9KW |
额定电压 | 220AC 50/60Hz |
极限温度 | 1000℃ |
连续工作 | 950℃(<1 小时) |
加热区长度 | 250mm |
恒温区长度 | 200mm |
加热元件 | 红外灯管 |
温度控制 | 国产程序控温系统可编程50段程序控温; |
控制精度 | ±1℃ |
石英管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100mm |
炉管材质 | 石英管 |
滑动距离 | 300mm |
大降温速度 | 900~200℃的降温速度:15min |
zui快升温速度 | 50?C/S |
滑动控制 | 由温度控制器自动控制炉体移动. 当程序完成,炉体按设定的速度滑动。 |
流量计 | 浮子流量计60-600ml/min |
滑轨尺寸 | 360 x1300x265mm |
外形尺寸 | 360x385x595mm |
重量 | 85Kg |
标准配置 | 气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。 |
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