快速退火炉的结构组成和应用先容
更新时间:2018-09-26 点击次数:4868
快速退火炉的结构组成部分:
退火炉骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁,围板采用冷薄板,台车用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。
传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。
密封:台车与炉体密封采用迷宫式结构,并在台车侧有自动沙封刀密封装置。炉门密封采用滚道式压紧和弹簧压紧自动机构密封该炉炉体部分采用耐火砖结构,炉膛密封性。在台车耐压部分采用高铝砖砌筑,下部均添保温砖保温。
燃烧系统:在油炉两侧各安装数只烧咀,热流在炉内往复循环,确保炉温均匀性。根据需要可选定自动型和半自动型。
排烟预热装置:在炉后上端安装了排烟预热装置,炉内的烟气通过预热器时,由风机送入冷风进行预热,再由管路送至烧咀进行助燃,并在出口安装一只手动碟阀,该阀可调节炉内压力。广泛应用于化工、石油、食品、冶金、机械、轻工、电力、船舶、造纸、矿山、医药、集中供热等工业部门的加热、冷却、冷凝、蒸发等工艺过程中。
快速退火炉的应用领域:
离子注入/接触退火;
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同气体氛围环境下使用;
SiAu, SiAl, SiMo合金化;
低介电材料;
晶体化,致密化;
太阳能电池片键合;
电阻烧结
其他热工艺需求